電子槍?zhuān)河糜诋a(chǎn)生電子，主要分類(lèi)如下：

　　電磁透鏡：熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來(lái)成束，所以在用熱發(fā)射電子槍的掃描電鏡上，電磁透鏡不可少。通常會(huì )裝配兩組：匯聚透鏡和物鏡，匯聚透鏡僅僅用于匯聚電子束，與成象會(huì )焦無(wú)關(guān)；物鏡負責將電子束的焦點(diǎn)匯聚到樣品表面。

　　掃描線(xiàn)圈的作用是使電子束偏轉，并在樣品表面作有規則的掃動(dòng)，電子束在樣品上的掃描動(dòng)作和顯像管上的掃描動(dòng)作保持嚴格同步，因為它們是由同一掃描發(fā)生器控制的。樣品室內除放置樣品外，還安置信號探測器。

　　2、信號探測處理和顯示系統

　　電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì )產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線(xiàn)等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如二次電子探測器、X射線(xiàn)能譜分析儀等來(lái)區分這些信號以獲得所需要的信息。雖然X射線(xiàn)信號不能用于成象，但習慣上，仍然將X射線(xiàn)分析系統劃分到成象系統中。

　　有些探測器造價(jià)昂貴，比如Robinsons式背散射電子探測器，這時(shí)，可以使用二次電子探測器代替，但需要設定一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除二次電子。

　　3、真空系統

　　真空系統主要包括真空泵和真空柱兩部分。

　　真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內產(chǎn)生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類(lèi)，機械泵加油擴散泵的組合可以滿(mǎn)足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對于裝置了場(chǎng)致發(fā)射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡,則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統和電子束系統均內置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。

　　光片掃描顯微鏡需要真空的原因包括：一是電子束系統中的燈絲在普通大氣中會(huì )迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成象的電子更多。